இது EM8000 இன் மேம்படுத்தப்பட்ட பதிப்பாகும், மேம்படுத்தப்பட்ட E- பீம் குழாய் முடுக்கம், வெற்றிட பயன்முறையில் வேறுபடுகிறது, குறைந்த மின்னழுத்தத்தில் துளையிடாத, எளிதான, வசதியான மற்றும் நட்பு செயல்பாட்டு அமைப்பு, பல நீட்டிப்பு மறுவடிவமைப்பு திட்டம் இல்லாத மாதிரியை அவதானிக்க கிடைக்கிறது. இது 1nm (30kV) தீர்மானம் கொண்ட முதல் FEG SEM ஆகும்.
நன்மைகள்:
1, ஷிட்கி எலக்ட்ரான் துப்பாக்கி, அதிக பிரகாசம், நல்ல ஒற்றை நிறத்தன்மை, சிறிய பீம் ஸ்பாட், நீண்ட ஆயுட்காலம்.
2, ஈ-பீம் டியூப் அக்ஸலரேஷன், விருப்ப நிலை குறைப்புடன்
3, நிலையான கற்றை மின்னோட்டம், குறைந்த ஆற்றல் பரவல்
4, குறைந்த மின்னழுத்தத்தில் துளையிடாமல் நடத்தப்படாத மாதிரி கண்காணிப்பு
5, எளிதான, வசதியான மற்றும் நட்பு செயல்பாட்டு இடைமுகம்
6, மிகப்பெரிய 5 அச்சுகள் மோட்டார் பொருத்தப்பட்ட நிலை
விவரக்குறிப்புகள்:
உள்ளமைவு | |
தீர்மானம் | 1nm@30kV (SE) |
3nm@1Kv (SE) | |
2.5nm@30kV (BSE) | |
பெரிதாக்குதல் | 15x-800,000x |
மின்னழுத்தத்தை துரிதப்படுத்துகிறது | 0-30kV தொடர்ச்சியான மற்றும் சரிசெய்யக்கூடியது |
எலக்ட்ரான் துப்பாக்கி | ஷாட்கி ஃபீல்ட் எமிஷன் துப்பாக்கி |
கத்தோட் உமிழ்ப்பான் | டங்ஸ்டன் மோனோ-கிரிஸ்டல் |
ஐந்து அச்சுகள் யூசென்ட்ரிக் ஆட்டோ நிலை | எக்ஸ்: 0 ~ 150 மிமீ |
ஒய்: 0 ~ 150 மிமீ | |
இசட்: 0 ~ 60 மிமீ | |
ஆர்: 360 ° | |
டி: -5 °~75 ° | |
அதிகபட்ச மாதிரி | 320 மிமீ |
எல்*டபிள்யூ*எச் | 342 மிமீ*324 மிமீ*320 மிமீ (உள்ளே அறை அளவு) |