நன்மைகள்:
இந்த தொடர் பம்ப் கடுமையான சுற்றுச்சூழல் (அதிக வெப்பநிலை, தூசி, முதலியன), செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை, மற்றும் எளிய பராமரிப்பு மற்றும் வசதியான செயல்பாட்டின் கீழ் செயல்திறன் கொண்டது.
விண்ணப்பங்கள்:
முக்கிய பயன்பாடுகள் தொழில்துறை கசிவு கண்டறிதல், PVD, CVD, அயன் பொருத்துதல், வெற்றிட மின்னணு கூறுகள் உற்பத்தி, குறைந்த மின் கண்ணாடி, ITO கண்ணாடி, ஆப்டிகல் பூச்சு, சூரிய மின்கலங்கள், எலக்ட்ரான் பீம் வெல்டிங், வெற்றிட உலை மற்றும் பிற தொழில்கள்
விவரக்குறிப்புகள்:
Flange (In) | DN400 ISO-K | வாயு முழுவதும் (sccm) | N2500 5500 |
Flange (அவுட்) KF | டிஎன் 100 | அவர் 000 4000 | |
உந்தி வேகம் (L/s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
அவர் : 2650 | Ar : 2100 | ||
H280 1280 | சுழற்சி வேகம் (rpm) | 13500 | |
Ar : 3200 | இயக்க நேரம் (நிமிடம் | 18 | |
சுருக்க விகிதம் | N2: 108 | குளிரூட்டும் வகை, தரநிலை | தண்ணீர் |
அவர் : 103 | குளிரூட்டும் நீர் நுகர்வு (எல்/நிமிடம்) | ≥1 | |
H2: 102 | குளிரூட்டும் நீர் வெப்பநிலை ()) | ≤25 | |
Ar : 108 | மின் இணைப்பு: மின்னழுத்தம் (V AC) | DC24/AC220 | |
இறுதி அழுத்தம் (பா) | 6 × 10-6 | அதிகபட்ச சக்தி நுகர்வு (W) | 1100 |
அதிகபட்சம் தொடர்ச்சியான முன்-வெற்றிட அழுத்தம் (பா) | 100 | கட்டுப்படுத்தி மாதிரி | FD-III |
அதிகபட்சம் முன் வெற்றிட அழுத்தம் | N2: 300 | எடை (கிலோ) | 130 |